VAT 板阀77006-r1 2951196/1技术参数

VAT 真空阀专为高真空、超高真空和超高真空条件下的所有真空水平而设计。 VAT 真空阀在洁净室条件下生产，并针对各自的应用量身定制。除了高纯度之外，VAT 真空阀因其高度精确的功能和耐用性而特别令人信服，即使在工艺条件下也是如此。 VAT 拥有全面的真空隔离和控制阀、气体计量阀、传输阀、排气阀和溢流阀以及快速关闭阀产品组合，可为所有应用领域提供*佳解决方案。 技术决定为保证*佳的真空隔离或控制功能，VAT 真空阀使用 VAT 开发的不同真空阀技术。除了颗粒防止功能外，这些技术还确保了在大量关闭和控制循环中的精确操作。 因此，适用于各种应用的 VAT 真空闸阀、真空角阀以及蝶形真空阀、摆式真空阀或全金属真空阀为所有领域的真空阀解决方案设定了标准。 挑战我们，我们也期待为您提供*佳解决方案。 除了我们网站上提供的标准解决方案外，我们也很乐意为您的真空系统开发量身定制的解决方案，请联系我们。所有条件下的出色压力控制 61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的动作控制器 (0.1 s)，它是 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的解决方案。该板充当节流元件并改变阀门开口的传导性。 61.3 的集成压力控制器计算所需的板位置以尽可能快地达到设定压力。 它专为气流中含有颗粒的苛刻下游工艺而设计。尽管设计的颗粒负载和碎片堆积很高，但 61.3 仍可*运行。 61.3 系列已安装在各种工艺条件下的数千种苛刻应用中，证明了其出色的可靠性。 61.3 系列具有坚固的设计和直接安装选项，以及减少和易于维护，在各个方面都令人信服。 阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软泵）方面的各种设计选项简化了与各种真空应用的集成。61.3 提供控制蝶阀铝制或不锈钢材质，带有 ISO-KF 和 ISO-F 标准法兰连接器。可以集成客户特定的法兰以及特殊功能，例如带绝缘的集成加热器。可根据要求提供各种 FFKM/FKM 弹性体（FKM Viton® 为标准配置）。 61.3 控制蝶阀的主要特点特征： 出色的压力控制非常快速的操作用于本地操作的板载软件在恶劣的工艺条件下可靠运行好处： 更好的过程可控性正常运行时间长/性能不受限制运营成本低