pneucleus 控制器 MCR-5ALC2000020O-01 技术参数

Maniflo质量流量控制器的可定制流量范围确保其能够满足各种应用需求，适应从极低到高达6000 SCCM的流量范围。这种适应性使其非常适合需要灵活控制气体流量的工业应用。无论是小型实验室应用还是大型工业系统，该控制器都可以进行定制，以在各种设置下提供精确控制。线性误差：Maniflo质量流量控制器的线性误差范围仅为0.5至1.0% FS，确保高度准确的气体流量测量。这种精度对于即使轻微偏差也可能导致重大工艺中断或效率降低的应用至关重要。通过最小化测量误差，它保证了气体流量的稳定性和一致性，确保最佳工艺性能。重复性：Maniflo质量流量控制器具有出色的重复性，精度高达±0.15% FS，这对于保持一致的气体流量控制至关重要。这种高重复性确保系统在相同条件下始终提供相同的流量，从而减少潜在的工艺变化。因此，工业界可以依赖其在需要长期稳定、可重复流量的临界应用中的性能。响应时间：Maniflo质量流量控制器仅需40毫秒的快速响应时间，使其能够快速适应流量条件的变化，非常适合需要快速校正的动态系统。这种快速反应可防止系统出现任何中断，确保气体流量保持在所需参数范围内。这种短响应时间在对工艺稳定性至关重要的应用中特别有益，例如半导体制造或实验室实验。