LOGOSOL LPA26-3-V23P1 技术参数

LPA26-3

创新、高性能、一体化设计消除了

外部控制器和互连电缆，同时进行维护

兼容性下降

由超低惯性无刷电机驱动，平稳、瞬时

回应

先进的扫描电子设备能够检测透明，

半透明和不透明物体，无机械

在不同晶圆尺寸之间重新定位

运动控制软件具有一套全面的常用功能

使用的命令可实现与的兼容性和接口

多种半导体平台

典型的对齐周期时间小于四秒，有助于

实现最大系统吞吐量

LPA26-3规格

晶圆直径

2英寸、3英寸、100毫米、125毫米、150毫米

晶圆不透明度

透明、半透明、不透明

方形基板

适用

晶圆处理

真空吸盘和销钉

定心精度

预对准器卡盘上的±25um

Angular

准确度

（3西格玛）

10000 CPR编码器

预对准器卡盘上的±0.04°

24000 CPR编码器

预对准器卡盘上的±0.02°

伺服轴

三

主机通信

RS232、以太网

最大初始晶圆偏移

10mm（2英寸晶圆为6mm）

车身尺寸（宽x长x高）

173毫米x267毫米x190毫米

封装兼容性

LPA38-3、LPA58-3

LPA4EH-3、LPA5EH-3、lpar6eh-3、LPA8EH-3

重量

5.00kg

所需设施

100-240VAC、50/60Hz、48VA或24VDC/2A

真空12英寸汞柱

平坦/凹口兼容性

符合SEMI标准

洁净

1级

平均故障间隔时间

超过70000小时