epiflow 800 HPX 流量计 工作原理

800系列HPX直列式高纯直列式流量计 

EPI-PUREGEN-LM 800 HPX系列是EPI Flow PURE系列清洁卫生流量计的一部分，是一种内联高纯度热质量流量计，使用防爆外壳，适用于需要极其精确和高度可重复的测量和控制的应用。 

800 HPX是一种热式质量流量计，具有独特的功能集，专为各种超高纯度和高纯度应用而设计，包括半导体和显示器、制药、生物技术、食品和饮料以及其他需要清洁卫生流量计的工艺。 

为了提供最高的精度、寿命和易于维护，EPI 800 HPX系列采用了一种坚固耐用、可清洁的热质量流量传感器，并利用了两个RTD（电阻温度检测器）传感元件。传感器也经过特别精制，易于拆卸和清洁，由参考级铂、陶瓷、玻璃和不锈钢制成。最后，VCR型传感器（非常易于清洁）被放入不锈钢盖中，以防磨损和腐蚀。 

如果您需要用于危险场所的内联安装型超高纯和高纯气体热质量流量计，800 HPX是您的 。另一方面，如果您需要适用于普通场所的超高纯度和高纯度直列式热流量计，并且额定值为无害，请检查我们的800系列HPN高纯度热质量流量计。 

仪表类型 

内联 

附件 

集成电子 

保修 

1-4年 

认证

800 HPX产品提供了一套专为各种超高纯度和高纯度应用而设计的功能，包括半导体和显示器、制药、生物技术、食品和饮料以及其他需要清洁卫生流量计的工艺。该产品包括一个坚固、可清洁的热质量流量传感器。这些单元由一个传感器组件组成，该组件利用两个RTD（电阻温度检测器）传感元件。传感器为VCR型，便于拆卸和清洁，由参考级铂、陶瓷、玻璃和不锈钢制成。在陶瓷基板上构建两个铂电阻传感器，然后涂上薄玻璃涂层。然后将组件滑入不锈钢护套中，以防止腐蚀和磨损。传感器组件体积大、坚固耐用，对污垢积聚相对不敏感。在操作过程中，温度传感器不断测量气体的环境温度，并在桥式电路的一侧保持参考电阻。第二传感器被迫通过自加热达到高于气流的恒定温度，并由温度传感器和桥接电路控制。我们的电桥通过我们专有的温度补偿技术保持过热温度并平衡温度效应。