extorr 残余气体分析仪RGA XT100

extorr 残余气体分析仪RGA XT100

射频发生器的设计符合物理允许的极限，稳定性是你所能买到的。Extorr系统通常运行数年，不会偏离校准或需要重新调整。对于任何围绕RGA构建仪器或流程的人来说，这通常是决定性因素：你明天进行的测量与你今天进行的测量相当。 

一个探头中的三个仪器 

皮拉尼规位于馈通的底部，Bayard-Alpert型离子规内置于电离器中，每个电离器都有自己的放大器。在一个2.75英寸CF端口上，您可以获得从大气压到特高压的总压力和四极杆的分压。这些仪表还可以作为故障安全联锁装置：灯丝和电子倍增器在压力偏移可能损坏之前关闭，您可以在任何压力下进行泄漏检查，而不仅仅是低于10-4Torr。 

测量的总压力，而不是导出的总压力 

许多RGA通过将它们测量的分压相加来报告总压力。该总和继承了光谱中的所有误差，并且随着电离器的老化而衰减。 

XT使用与电离器一起制造的真正的Bayard-Alpert型离子计测量总压力，该离子计具有自己的收集器和放大器。它以比四极杆所需的5-10eV高得多的离子能量运行，这使得它对电离器老化的敏感性大大降低。这是一个独立的测量值，而不是一个导出的数字，它为您提供了一个机载参考，以校准电离器老化时的分压。 

单次扫描九个数量级 

单个宽动态范围放大器读取10-6至10-15A的离子电流，在扫描过程中自动无缝地进行测距。分压范围为10-4至10-11Torr，或使用电子倍增器时低于10-14Torr，在一次光谱扫描中捕获，无需您进行任何设置。 

XT系列残余气体分析仪 

Extorr的XT系列残余气体分析仪具有 的性能和价值。每个系统都配有内置的皮拉尼和离子计。 

Extorr的XT系列残余气体分析仪（RGA）具有 性能和价值。这些RGA提供了比任何其他单一竞争设备更详细的真空气体分析。每个系统都配有一个多测量四极杆探头，包括内置的皮拉尼和离子计、一个控制和通信单元（CCU）以及一个实时软件包。用于泄漏测试、过程监测、抽空和烘烤监测、真空诊断以及气体和污染物识别。 

extorr 残余气体分析仪RGA XT100