Gaertner 椭偏仪GaertnerLSE-MS

Gaertner 椭偏仪GaertnerLSE-MS 

Gaertner斯托克斯微光斑椭偏仪LSE-MS具有15微米的测量激光束直径，手动XY微米定位台和用于在您的PC上查看测量区域的相机。可以测量小至15 X 45微米的区域。该装置的简单但坚固的设计提供了易于使用和即时测量，是过于复杂的椭偏仪的受欢迎替代品。Gaertner LSE-MS椭偏仪采用先进的StokesMeter™技术（曾获得Photonics Spectra和R&D 100最佳新产品奖，无移动部件和调制器，能够快速准确地确定6328Å激光测量光束在70°入射角下的完整偏振状态。激光光源具有充足的光强度，提高了对吸收和粗糙散射薄膜的测量精度。激光光源具有光谱精确、稳定和持久的优点。其使用允许在光学、探测器和其他组件中进行最佳仪器设计，从而实现高精度的测量。该设计节省空间，占地面积小，但可以容纳宽达300mm的大样品。样品台包括手动倾斜和台高度调整，这通过计算机上的校准屏幕进行设置。

Gaertner斯托克斯椭偏仪GaertnerLSE-MS功能

 ，无活动部件的高级StokesMeter™测量头。

测量提供全偏振态，提高准确性。

使用光谱精确的激光椭圆仪进行准确、稳定的测量。

用于薄膜测量的最快仪器。

对于相似的晶圆，免倾斜、免聚焦、免人工操作。

简单，紧凑的桌面仪器 - 价格具有竞争力。

Gaertner LSE-MS 可以配备以下选项：

可选线性旋转台 LRS

6 英寸线性和 360 度旋转台替代标准台

可选 WIN 10 笔记本电脑

预装驱动程序和软件。

可选斯托克斯校准套件 L118-KIT

使用 4 块 Gaertner 可追溯晶圆及玻璃重新校准任何斯托克斯椭圆仪 (L118G-KIT) 或

4 块 NIST 可追溯晶圆及玻璃 (L118N-KIT)。大多数用户不需要椭圆仪重新校准。适用于具有极其严格公差和法规合规要求 的半导体制造商。

Gaertner斯托克斯椭圆仪 LSE-MS 规格

校准： 使用计算机校准屏幕手动调整倾斜和台面高度。

相机： 在您的电脑上显示测量区域

入射角： 70°

测量方法： 高级 StokesMeter™ 使用无移动部件和无调制器的四个固定硅探测器来确定完整的测量光束偏振

，因此测量稳定且准确。

测量时间： 实际上瞬间

测量激光： 6328Å HeNe 气体激光器，测量光束直径为 1mm

准直激光： 670nm 激光二极管

样品（晶圆）尺寸： 宽至 300mm X 无限长度

阶段: XY 手动定位台，带倾斜和台高度调整。

软件: 包含 Windows™ LGEMP 4 层程序。

所需计算机: Windows™ 台式机或笔记本电脑，带 USB 2/3 端口（不包括）

膜厚范围: 在基底上或在 1, 2, 3, 或 4 个已知的子层上，0 - 60,000 阿斯特姆。

精度和重复性: 在整个测量范围内优于亚阿斯特姆。

折射率: 在整个测量范围内 ±.0005。

电源: 100V-240V, 50-60Hz., 1 A

尺寸: 高度：16.5 宽度：27.5 深度：16 英寸

净重： 45 磅。运输重量：65 磅。

CDRH 合规性： 所有由 Gaertner 供应的激光椭圆仪符合 CDRH 要求 21CFR 1040 的 Class

II 激光产品，其发射功率小于 1 mW 或 Class IIIb 小于 5 mW 的低功率辐射。与

任何明亮的光源（如太阳或弧灯）一样，操作员不应直接注视激光

光束或其在高反射表面的反射。

CE 合规性： 斯托克斯椭圆仪符合欧洲安全指令，并带有CE标志。

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