logosolinc 机械手38-3 配件

logosolinc 机械手38-3 配件

LPA系列

创新、高性能、兼容1级

独特的一体式设计消除了外部控制器

以及互连电缆，同时保持插入式

兼容性

扫描电子设备、运动控制器和电源

包含在行业标准足迹内

由超低惯性无刷电机驱动，

即时响应

能够检测的优良扫描电子设备

透明、半透明和不透明物体

无需在不同尺寸之间进行机械重新定位

与支持晶圆搬运机器人的无缝接口

所有晶片尺寸从45mm到480mm，以及各自的

方形基板的尺寸

Logosol控制软件具有一套全面的

启用与的兼容性和接口的命令

多种半导体平台

快速对齐周期有助于实现

最大系统吞吐量

既可作为独立设备使用，也可作为嵌入式设备使用

与晶圆搬运机器人协同工作的设备

保留选项包括真空、非真空和

边缘处理

LPA25-1E

创新、高性能、一体化设计消除了

外部控制器和互连电缆，同时进行维护

兼容性下降

由超低惯性无刷电机驱动，平稳、瞬时

回应

优良的扫描电子设备能够检测透明，

半透明和不透明物体，无机械

在不同晶圆尺寸之间重新定位

运动控制软件具有一套全面的常用功能

使用的命令可实现与的兼容性和接口

多种半导体平台

典型的对齐周期时间小于四秒，有助于

实现最大系统吞吐量

logosolinc 机械手38-3 配件