oainet 光度计Model 656 仪器

oainet 光度计Model 656 仪器

656型光能表

OAI 656型仪表设计用于所有面罩对准器和洪水曝光系统。50多年来，OAI一直是紫外光和能量测量仪器的全 于半导体、MEMS、晶圆封装和晶圆凸块行业光刻工艺的可靠精确校准控制。200IR型桌面正面和背面掩模对准器

OAI Model 200IR口罩对准器是一种桌面系统，需要最少的洁净室空间。它是研发或有限规模试生产的成本效益高的替代方案。利用创新的空气轴承/真空卡盘调平系统，基板被快速而温和地调平，以便在接触曝光期间实现平行光掩模对准和晶片上的均匀接触。200型红外掩模对准器能够达到1微米的分辨率和对准精度。它有一个对准模块，该模块具有掩模插入套件和快速更换晶片卡盘，可以使用各种基板和掩模，而不需要重新配置工具。对齐模块包含X、Y和Z轴的千分尺。

该掩模对准器具有可靠的OAI光源，使用功率从200W到2000W的灯提供近紫外或深紫外的准直紫外光。双传感器光学反馈回路与恒定强度控制器相连，将曝光强度控制在所需强度的±2%以内。可以快速且轻松地改变UV波长。200IR型掩模对准器是一种灵活、经济的解决方案，适用于MEMS、微流体和NIL的任何入门级掩模对准和紫外线曝光应用。

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