Novascan PSD-UV 臭氧清洗机 仪器

Novascan PSD-UV、PSDP-UV 和 PSDP-UVT紫外/臭氧处理系统

凭借*成千上万的用户，Novascan 的 PSD 和 PSDP 系列紫外/臭氧系统已被证明是性能可靠、行之有效的设备。欢迎立即联系 Novascan，我们将协助您为您的应用选择最合适的系统。

- 表面原子级清洗

- 晶圆清洗

- 光刻胶去除

- 聚合物、PDMS、COC、PS 的键合

- 薄膜制备前处理 Novascan PSD-UV  臭氧清洗机 仪器

- LCD 显示屏清洗

- 有机分子去除

- 释放被困的无机分子

- 微流控器件制造

- AFM 探针清洗Novascan PSD-UV  臭氧清洗机 仪器

- 微/纳米图案化

- 紫外固化胶黏剂、油墨等

- 化学表面改性

- 灭菌

- 表面氧化处理

- 金属键合前处理等

样品应用

除上述应用外，Novascan 的 PSD 系列设备还常用于扫描探针显微镜（SPM）相关应用。该设备可用于清除 AFM 探针、SPM 标准样品及其表面上的常见油性薄膜和被困的无机材料。处理过程还可用于改变表面的疏水/亲水特性，辅助探针和表面的化学改性，对探针进行氧化和硬化，从而在扫描过程中保持探针几何形状，并对探针进行锐化，以提高横向分辨率。

Novascan 的设备被广泛应用于*各地的纳米技术、化学、生物学、光学、电子学、半导体以及其他科研实验室中。PSD 系列相关的发表文献数量仍在不断增加。

样品基材

硅

氮化硅

硼硅玻璃

二氧化硅

云母

石英

金属

陶瓷

蓝宝石

砷化镓

聚合物（如 PDMS）

其他材料

仪器规格

PSD 和 PSDP 系统在性能和尺寸上相似，但在控制器功能、可升级性以及加热台选项上有所不同。

PSD 系列

PSD 系列仪器是数字控制的台式系统，尺寸范围从 4×4 英寸到 20×20 英寸不等。该系列系统配备了高性能的紫外网格灯系统和反射器，并设有可调高度台，以实现样品的最佳定位和性能表现。对于 4×4 英寸及以上的系统，还提供气体进出口接口。系统由便捷的预设控制器控制，使操作非常简便。

特征:

- 预设数字控制器

- 便捷的双按钮操作，操作简单方便

- 自动化流程时间：15、30、45、60、90、120分钟

- 处理周期可随时手动中断

- 系统不易升级为带温控工作台的版本

- 节约成本且功能实用的设计使该系统深受欢迎

- 安装和使用非常简单

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多种有价值的可选配置，可满足您所有应用需求（选项清单请参见附录 B。）

PSD Pro 系列

PSDP 系列仪器是研究级紫外/臭氧清洗系统，提供对分子或有机物去除及众多其他应用的最大灵活性。系统可在环境空气中运行，也可通过两个标准气体接口之一通入氧气，以增加臭氧产量。可编程数字控制器负责系统操作，确保精确的时间控制和最佳清洗参数。

- 特征:

- 可编程数字控制器，提供更多操作控制

- 数字倒计时显示

- 可轻松升级为带温控系统

- 具有“暂停"和“中断"功能

- 功能 的系统，提供增强的工艺控制

- 内置存储，可保存之前的设置

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多种有价值的可选配置，可满足您所有的应用需求（选项清单请参见附录 B）。

PSD Pro 加热系列

PSDP-UVT 在 PSDP-UV 的基础上进一步升级，增加了温控工作台，以 分子有机物的去除效率。配备带 PID 反馈回路的数字控制器，可精确维持高达 150°C 的稳定温度（可选配 200°C）。

特征:

- 与 PSDP 相同，但出厂时已安装温控工作台

- 提供最大潜力和灵活性

- 非常适合多用户环境

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多种有价值的可选配置，可满足您所有的应用需求（选项清单请参见附录 B）。

系统通用特性与信息

电源:100、120、220、240 伏交流电，50-60 赫兹

样品高度:所有系统均配有可调高度工作台，并带有外部工作台锁，以确保样品与灯的适当间距。标准工作台尺寸等于或大于紫外网格灯的尺寸。

紫外网格灯:产生臭氧的汞蒸气网格灯，带反射器。使用寿命约为5000 小时。

紫外反射器:紫外反射器通常比网格灯尺寸大 1 英寸。例如，对于4×4 英寸的网格灯，反射器尺寸为 5×5 英寸。

样品装载:腔体通过铰链向上开启，远离样品工作区，可实现约 360 度的样品装载空间。

安全:安全联锁装置在腔体打开时会关闭紫外灯

气体接口:标准配置为两个接口，可选配更多接口

真空腔:可按特殊订单选择——铝制或石英材质制造

热紫外:增强型且更快速的处理，可用于光刻胶去除、聚合物键合等，温度可达 150°C（可选 200°C）

臭氧中和器:中和器和泵为 PSD 和 PSDP 系统的可选配置。同时也可选配自动臭氧排放功能

双紫外灯:可选配上下灯，实现样品两面同时处理

PSD 和 PSDP 系列的工作原理

PSD 和 PSDP 系列仪器通过产生适当比例的高能紫外光（波长为 185 nm 和 254 nm）来破坏有机分子（污染物）。185 nm 波段将分子氧 (O₂) 激发形成高能臭氧 (O₃) 自由基；同时，254 nm 波段激发表面的有机分子，使其高度易受臭氧自由基的破坏。

由于臭氧的半衰期较短，且会被 254 nm 波段破坏，因此使用可调样品台将样品相对于灯的位置调整到最佳状态，以获得最佳性能。PSD和 PSDP 系列会将被破坏的污染物以 CO₂ 和H₂O 蒸汽的形式释放，而剩余的臭氧则会恢复为分子氧 (O₂) 状态。