UVFAB Systems清洗机 HELIOS-600 仪器

UVFAB Systems清洗机 HELIOS-600 仪器

紫外线臭氧清洗系统

HELIOS-600型

UVFAB的紫外线臭氧清洁系统提供了一种简单、廉价、快速的方法，可以在大多数基材上获得无有机污染物的超清洁表面，如石英、硅、金、镍、铝、砷化镓、氧化铝、载玻片等。在基材清洁后几分钟内，使用紫外线臭氧清洁剂可以很容易地实现超清洁表面。

紫外线臭氧清洁过程是一种光敏氧化过程，其中光致抗蚀剂、树脂、人体皮肤油、清洁溶剂残留物、硅油和助焊剂的污染物分子被短波紫外线辐射的吸收激发和/或解离。当分子氧被185nm紫外线波长分解，臭氧被254nm紫外线波长解离时，同时产生原子氧。254nm的紫外线辐射被大多数碳氢化合物和臭氧吸收。污染物分子的这种激发产物与原子氧反应形成更简单、更易挥发的分子，这些分子从表面解吸。因此，当两种紫外线波长都存在时，原子氧会不断产生，臭氧会不断形成和破坏。使用紫外线臭氧清洁剂，可以在几分钟内实现近乎原子级的清洁表面，而不会对您的设备造成任何损坏。

紫外线臭氧清洗系统

HELIOS-600型

UVFAB Systems生产的HELIOS-600型紫外线臭氧清洁剂

高强度紫外格栅灯（185nm+254nm）

6x6x1.5英寸（150x150mm）抽屉样品台

带不锈钢反射器的紫外线格栅灯

抽屉安全联锁装置

低拥有成本2英寸外径排气口

室温下的大气过程

200mm紫外线臭氧清洗系统

UV-208型

高密度臭氧产生紫外格栅灯

紫外灯和样品台之间的距离可变

最多可处理8英寸x 8英寸（200毫米）的样品

低温晶圆清洗

占地面积小、紧凑

抽屉装载机构

数字处理定时器、清洗定时器和紫外线灯小时计数器

300mm紫外线臭氧清洗系统

型号UV-312

300mm紫外线臭氧清洗机，型号UV-312

高密度臭氧产生紫外格栅灯

紫外灯和样品台之间的距离可变

最多可处理12英寸x 12英寸（300毫米）的样品

低温晶圆清洗

占地面积小、紧凑

抽屉装载机构

数字处理定时器、清洗定时器和紫外线灯小时计数器

UVFAB Systems清洗机 HELIOS-600 仪器