LOGOSOL LPA26-3-V23P1-S23-V500P-NE 独立晶圆预对准器 技术参数

LOGOSOL LPA26-3-V23P1-S23-V500P-NE 独立晶圆预对准器

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Logosol预对准器独立式,LPA,独立边缘处理预对准器，适用于200mm晶圆,减小接触的边缘处理预对准器，

适用于200mm晶圆,对准能力：标准200mm晶圆，200mm平晶圆，透明及半透明基板,

接触区：边缘接触，接触宽度为1mm,减小接触的边缘处理预对准器能够容忍更大的初始偏移量（最多可达6mm）

LPA26-3

创新、高性能、一体化设计消除了

外部控制器和互连电缆，同时进行维护

兼容性下降

由超低惯性无刷电机驱动，平稳、瞬时

回应

先进的扫描电子设备能够检测透明，

半透明和不透明物体，无机械

在不同晶圆尺寸之间重新定位

运动控制软件具有一套全面的常用功能

使用的命令可实现与的兼容性和接口

多种半导体平台

典型的对齐周期时间小于四秒，有助于

实现最大系统吞吐量

LS-182AP是一款单轴运动控制器

为应用而设计的集成伺服放大器

使用无刷（AC）、有刷换向（DC）和

松下A或S系列电机，最高1.5马力。   

在绝对定位模式下，电机位置可以

使用模拟传感器（电位计）进行控制。  

最多可控制31个智能伺服驱动器

通过多点全双工RS-485网络

分布式运动控制环境。标准

RJ-45连接器和商用电缆

用于模块的菊花链。 

LS-182AP配备了各种安全功能

例如电机的短路保护，以及

控制器，超行程限位开关输入，紧急

停止输入、过压和欠压停机。这个

最大电机输出电流和过载时间

可以设置。