Logosol 晶圆处理LPA38-3-V40E2 技术参数

Logosol晶圆处理平台包括各种产品和服务，这些产品和服务源于30多年的半导体自动化经验。该技术涵盖了从硬件、软件和机械设计到制造、集成和应用工程的各个方面。该公司与晶圆搬运机器人和预对准器相关的设计解决了半导体晶圆厂中需要直接更换传统产品的应用，以及OEM制造商在新开发的资本设备中进行的自动化材料搬运。这些产品线采用Logosol 拥有和控制的技术，包括运动控制电子设备、晶圆处理固件、软件工具、实用程序和机械设计。整个技术范围的可用性实现了 水平的无缝集成、可制造性、可靠性和成本效益。

机器人许可

Logosol长期以来一直将其专有的晶圆处理自动化技术授权给各种实体。这些产品包括各种各样的机器人尺寸和手臂配置，作为灵活的模块化自动化平台的一部分。被许可方受益于该公司在半导体自动化领域的广泛专业知识、经过验证的产品和解决方案，以及30多年的专业知识。我们公司提供全面且高度可定制的统一技术，涵盖您项目的各个方面，从机械设计到运动控制电子设备、固件、软件工具和实用程序。无论您需要简单还是复杂的解决方案，我们都可以定制我们的技术以满足您的特定要求。您将 控制您的项目，而无需依赖第三方添加。我们的技术设计灵活、可扩展、可靠，确保高性能和高质量标准。该公司不仅提供制造许可证和文件，还提供构建整个产品所需的机器人控制器、电源和特定电子模块。此外，Logosol提供 的晶圆预对准器，可与所有获得许可的晶圆搬运机器人无缝集成。

机器人控制器

LRC-x31g3是三轴、四轴和五轴机器人控制器，带有集成CPU板和功率放大器，专为需要精确控制旋转或线性无刷电机的应用而设计。它们可以用作内置或外部控制器。LRC-x31g3通过主机RS-232或10/100 Base-T以太网接口进行控制。使用Logosol分布式控制网络扩展接口可以无缝连接其他外部设备。LRC-x31g3配备了各种安全功能，如输出和电机短路保护、欠压停机和编码器存在控制、智能停止功能，以避免机器外部停止或电源断开时机器人手臂掉落。先进的运动控制技术支持高分辨率编码器，可实现 的多轴轨迹生成。硬件辅助的位置锁定提高了用于动态晶圆对齐的精度。

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运动控制框架

MCL5是Logosol专有运动控制软件包的第五代，它提供了一种特定于领域的编程语言和一个多任务实时解释器。这是一个专门用于机器人控制应用程序设计的编程框架。MCL5可执行文件包括运动控制器和I/O模块的集成、各种机器人运动学的实现、对复杂轨迹运动的支持以及系统完整性的监控。该可执行文件还包括一个实时多任务脚本解释器。它允许设计特定于应用程序的脚本，可用于协调机器人运动的顺序并实现自定义主机通信协议。脚本语言由一组保留字定义，其表达式语法类似于C编程语言中的表达式语法。