sscooling ThermoCube II 200-500冷却机 技术参数

sscooling ThermoCube II 200-500

热电偶架1201 

用于等离子蚀刻和其他半应用的机架式冷水机，冷却能力为1200瓦 

±0.05°C温度稳定性/可重复性 

工作范围为-10°C至80°C 

专为快速响应而设计 

减少晶圆之间的差异，消除第一晶圆效应 

比基于压缩机的冷水机组节能高达80% 

采用热电技术，可靠性高，维护成本低 

设计简单——只有2个运动部件 

消除氟利昂和其他有害制冷剂，以符合新的环境法规 

使用更少的设施用水和昂贵的冷却剂，如Fluorinert或Galden 

紧凑的尺寸：1台压缩机冷却器的空间内最多可容纳6个TR1201系统 

AMAT、LAM、TEL和Hitachi系统可用的通信接口 

通用电源-插上电源，即可在世界任何地方使用 

等离子蚀刻、等离子灰、CMP和其他工艺的解决方案 

四种基本型号，制冷能力从200瓦到500瓦 

±0.05°C温度稳定性/可重复性 

采用高度可靠的无制冷剂热电技术。 

快速响应负载变化 

低噪音、低振动 

设计用于满足您的特定需求 

6种泵选择：隔膜泵、离心泵和齿轮泵 

9个合适的选择 

提供铝（标准）、铜或不锈钢冷板 

5种不同的通信方式：RS232、RS485、以太网或TTL 

其他14种选择包括：扩展温度范围、集成流量计、泄漏检测器、音频报警、替代流体和不锈钢管道 

变速风扇和自动重启现在是所有型号的标配 

紧凑型尺寸：11英寸x13英寸x13" 

节能，仅在需要保持温度时使用电力 

通用电源-插上电源，即可在世界任何地方使用 

除了许多标准配置选项之外，还可以轻松定制