sscooling ThermoRack 1801半导体制冷器 技术参数

sscooling ThermoRack 1801 

半导体制冷器 

热电偶架1801 

用于等离子蚀刻和其他半应用的更高容量机架式冷却器1800瓦的冷却能力，比相同5U机架式外壳中的ThermoRack 1201多50% 

±0.05°C温度稳定性/可重复性 

工作范围为-20°C至80°C 

专为快速响应而设计 

提供标准高流量、中等流量和低流量配置 

减少晶圆之间的差异，消除第一晶圆效应 

比基于压缩机的冷水机组节能高达80% 

采用热电技术，可靠性高，维护成本低 

设计简单——只有2个运动部件 

消除氟利昂和其他有害制冷剂，以符合新的环境法规 

使用更少的设施用水和昂贵的冷却剂，如Fluorinert或Galden 

紧凑的尺寸：1台压缩机冷却器的空间内最多可容纳6个TR1801系统 

AMAT、LAM、TEL和Hitachi系统可用的通信接口 

通用电源-插上电源，即可在世界任何地方使用 

等离子蚀刻、等离子灰、CMP和其他工艺的 解决方案

热电偶架1201 

用于等离子蚀刻和其他半应用的 机架式冷水机，冷却能力为1200瓦 

±0.05°C温度稳定性/可重复性 

工作范围为-10°C至80°C 

专为快速响应而设计 

减少晶圆之间的差异，消除第一晶圆效应 

比基于压缩机的冷水机组节能高达80% 

采用热电技术，可靠性高，维护成本低 

设计简单——只有2个运动部件 

消除氟利昂和其他有害制冷剂，以符合新的环境法规 

使用更少的设施用水和昂贵的冷却剂，如Fluorinert或Galden 

紧凑的尺寸：1台压缩机冷却器的空间内最多可容纳6个TR1201系统 

AMAT、LAM、TEL和Hitachi系统可用的通信接口 

通用电源-插上电源，即可在世界任何地方使用 

等离子蚀刻、等离子灰、CMP和其他工艺的 解决方案 

辅助加热器可用于加热65°C以上