*美艾博格Aalborg质量流量计

北京志鸿恒拓科技有限公司
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美艾博格Aalborg质量流量计

    美Aalborg是公司成立于1972年，是世界上较有名的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等域。产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺 。设计特点：－刚性属结构 －流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm －大压力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦气 －NIST系统标定可追踪的证明 －可倾斜的LCD读表 －0-5Vdc或4-20m*美艾博格Aalborg质量流量计

A信号输出 －电路保护 －可用作便携式的设备 －0到100％比例显示 －可

配备流量计算机 精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（1

5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（

标定精度），在给定的温度与压力值条件下。 重复性：±0.5％满量

程 回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒 温度系数：

0.15％满量程／℃ 压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar） 气体

／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃） 输出信号：0-5Vdc，小

1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出：＋12Vdc；

大200Ω。